반도체·디스플레이 업종은 공정 특성상 독성물질과 인화성물질을 많이 사용해 누출 시 피해 영향범위가 다른 업종보다 더 크기 때문에 신속하게 누출을 탐지해 즉시 차단해야 위험을 줄일 수 있다.

또한 가스공급설비(캐비닛)에서 누출이 발생하면 누출 가스를 신속히 포집해 중화처리 설비로 이송해야 하나, 자칫 가스 누출 감지가 늦어져 일부 고압가스가 실내로 유입돼 근로자 피해가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 신속한 가스 누출 탐지와 차단이 필요한 상황이다. 

 

이에 화학물질안전원은 2023년부터 자체 연구를 통해 위험성을 확인했고, 이를 해결하기 위해 2024년에 초음파 탐지기를 활용해 신속히 누출을 감지하고 실내 유입을 막는 원천 기술 특허를 국내·외에 출원한 바 있다.

이 같은 기술을 현장에 적용하기 위해 화학물질안전원의 국유 특허를 활용, 에스엠인스트루먼트와 손잡고 올해 6월에 초음파 탐지기 시제품을 개발했다. 

6일부터는 반도체 업체 에스케이실트론에 누출 가스 신속 탐지 및 실내 유입 자동 차단 기술을 가스공급설비에 설치하는 시범 사업이 진행될 예정이다.

기존 가스공급설비에 설치된 전기화학 가스감지기는 흡입관을 통해 누출된 가스를 흡입해 접촉하는 방식으로 흡입관 길이에 따라 감지되는 시간이 지연됐으나, 이번 초음파 기반 누출 탐지 장비는 음파를 활용해 0.5초 이내에 누출을 탐지하고, 가스 종류에 상관없이 범용적으로 사용할 수 있는 장점이 있다는 평가다.

화학물질안전원에 따르면 관련 기술을 적용하면, 염화수소 취급 공급설비의 경우 피해 영향범위가 264m(기존 안전설비의 경우 517m)로 줄어들고, 누출된 가스의 실내 유입을 신속히 차단해 근로자의 피해를 막을 수 있다.

향후 화학물질안전원은 이번 시범사업의 효과를 분석해 관련 기술을 국내 반도체·디스플레이 사업장에 홍보하고, 가스공급설비 국제 표준(SEMI) 인증에 반영될 수 있도록 검증기관과 협의한다는 계획이다.

박봉균 화학물질안전원장은 “이번 사례는 현장 위험성 평가과정에서 누출 감지 지연 문제를 발견해 이를 해결하기 위한 아이디어를 내고 실제 시제품 개발까지 성공했다는 데 의의가 있다”라며, “앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 지속해 우리 기업들이 보다 안전한 환경을 만들 수 있도록 적극 지원하겠다”고 전했다.