[미디어펜=조한진 기자]SK하이닉스 이천 캠퍼스 M16라인에서 6일 불산 노출 사고로 부상자가 발생했다.

SK하이닉스 등에 따르면 이날 오전 M16라인 장비 설치·점검 과정에서 장비 안에 있던 불산이 미량 노출됐다.

이 사고로 작업자 A씨가 팔과 다리에 화상을 입었고, 함께 작업하던 두 명도 공기중에 노출 된 불산을 미량 흡입한 것으로 전해졌다. 세 명 모두 병원에 옮겨졌고, 생명에는 지장이 없는 것으로 파악됐다.

이날 오후 1시 40분 기준 불산 농도는 0%로 측정돼 완전히 사라진 것으로 전해졌다. 반도체 생산에도 문제가 없는 상황이다.

SK하이닉스 측은 경찰의 사고 경위 조사에 적극 협조한다는 입장이다.

한편 지난 2월 준공된 M16 라인은 SK하이닉스 최초로 EUV(극자외선) 노광 장비가 도입된 시설이다. SK하이닉스는 최첨단 인프라를 기반으로 이 팹을 차세대 성장동력으로 키울 계획이다. EUV 장비를 활용해 올해 하반기부터는 4세대 10나노급(1a) D램 제품을 생산할 예정이다.